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真空機(jī)組的設(shè)計(jì)條件與設(shè)計(jì)步聚
(1)真空機(jī)組的設(shè)計(jì)條件
①真空室的已知參數(shù):真空室的體積;放氣的表面積;真空室的漏氣量;工作真空度;極限真空度;預(yù)抽時(shí)間和達(dá)到極限真空的抽氣時(shí)間等。
②真空室內(nèi)的氣體源情況:真空室內(nèi)的大氣;真空室內(nèi)表面放氣;真空室的動(dòng)密封處、靜密封處的漏氣;殼體滲透氣體;被處理材料放出的氣體;工藝過程需要而引入的氣體。
③真空室內(nèi)的特殊要求:工藝過程中是否產(chǎn)生塵灰、金屬噴濺、腐蝕性氣體、水蒸氣等;真空室內(nèi)是否要求無油、無振動(dòng)等。
(2)真空機(jī)組設(shè)計(jì)計(jì)算的一般程序
A.真空室內(nèi)總放氣量的計(jì)算;
B.確定真空室的有效抽速;
C.粗配主泵和粗配前級真空泵;
D.根據(jù)要求選擇閥門、捕集器、除塵器等真空元件;
E.繪制真空系統(tǒng)裝配草圖,確定各部分的尺寸;
F.梢確(復(fù)核)計(jì)算各真空泵的參數(shù),如果粗選的真空泵達(dá)不到要求,就需要重新選泵和配泵,直到滿足各參數(shù)要求為止;
G.繪制真空系統(tǒng)裝配圖;
H.繪制零件圖,繪制施工圖。
這八條設(shè)計(jì)計(jì)算步驟是非標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)不可缺少的。隨著真空設(shè)備的不斷發(fā)展,隨著各種新型的真空機(jī)組的不斷出現(xiàn),真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)過程會不斷簡化.現(xiàn)在已有定型真空機(jī)組,若可以直接選擇定型真空機(jī)組來獲得所需真空系統(tǒng),便可省去麻煩的真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)。
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